摘要：中国计量科学研究院建立了微风速标准装置，基于该标准装置对热线风速仪的校准展开了实验研究。微风速标准装置基于相对法测量原理，实验通过气浮滑车搭载热线风速仪运动，由激光干涉仪测得的距离对时间微分得到标准速度，通过这种方式实现了热线风速仪的校准。滑车的运动速度可以溯源到国家计量院的时间和长度基准；此外，根据热线风速仪传感器的理论模型计算得到了热线风速仪的静态特性方程，比较理论模型与校准结果，发现二者具有良好的一致性。实验结果和不确定度分析表明：微风速标准装置的扩展不确定度U=0．82％（k=2）；热线风速仪校准结果的扩展不确定度U=2．42％（k=2）。

摘要：基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理，设计了一套钨探针制备装置，并对钨探针制备参数进行了研究。装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数，控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态。与传统腐蚀探针相比，该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数，获得了形状可控的大长径比探针；同时通过精确控制腐蚀反应时间，可制备针尖曲率半径范围为5～20nm的探针。

摘要：基于Si／SiO2材料对制备出名义节距为50nm的多层膜光栅，重点分析了多层膜光栅研磨抛光过程中的亚表面损伤和湿法刻蚀均匀性问题。并利用原子力显微镜（AFM）和透射电子显微镜（TEM）对多层膜的截面粗糙度和刻蚀光栅结果进行了测量和分析。测量结果显示：多层膜光栅制备过程中的哉面粗糙度降低乖¨刻蚀均匀性的提高，有助于TEM测量获得均一的高成像对比度多层膜光栅图像。

摘要：为了提高火星探测器着陆时对坡度的估计精度，研究了一种基于三维点云数据聚类与随机搜索最优拟合平面的坡度估计方法。将通过激光雷达测量获得的三维点云数据进行稀疏表示，利用稀疏系数对数据点进行聚类与分割，划分子空间；对子空间中的数据点进行平面拟合，随机搜索最优拟合平面；根据最优拟合平面计算平面法向量之间夹角，其在数值上等于坡度角，从而完成坡度估计。实验表明：该方法可以对坡度进行较为准确的估计；与常用的坡度估计方法相比，相对误差较小。

摘要：为了更加准确地评定用水平仪测量竖直轴系的倾角回转误差，利用水平仪测试数据中误差的组成成分，明确两维水平仪读数中的谐波成分与回转误差中的谐波成分的相互关系。基于已有的2种数据处理方法，提出了将测量数据转换到固定坐标系下2种新的处理方法。详细分析了4种数据处理方法的优缺点，其中一次谐振分离方法将回转误差中的一次谐振量成功分离，得到了完整的回转误差。通过改变铅垂度，对轴系回转误差进行8次测量，对比所辨识的参数，从而验证了该方法的正确性。